阿爾卡特ALCATEL分子泵是一種非常常見的獲得高真空和超高真空的設(shè)備。分子泵內(nèi)部有高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子,支撐轉(zhuǎn)子平滑轉(zhuǎn)動的軸承承擔(dān)了很大的負(fù)荷,正確的使用和及時的保養(yǎng),對分子泵軸承乃至整個分子泵的正常工作意義重大。分子泵在工作過程中,如果壓強突然惡化,則有可能損壞葉片。分子泵的振動,主要是其振動零部件的不平衡引起的,主要因素有:
一、渦輪轉(zhuǎn)子以及電動機主軸的不平衡是產(chǎn)生振動的主要來源。從渦輪轉(zhuǎn)子的結(jié)構(gòu)看,影響其平衡的原因有:
1、轉(zhuǎn)子的材質(zhì)不均(包括密度不均和膨脹系數(shù)的不均);
2、渦輪轉(zhuǎn)子的各組成零件在制造中的加工誤差,如同軸度、轉(zhuǎn)子端面的平行度、轉(zhuǎn)子體的不對稱性等等;
3、轉(zhuǎn)子的裝配質(zhì)量。如渦輪轉(zhuǎn)子上下葉輪因裝配不當(dāng)產(chǎn)生偏差;渦輪轉(zhuǎn)子在電動機軸上裝得不正;或裝配時壓緊力不足,高速運轉(zhuǎn)后產(chǎn)生松動等。
以上諸因素會造成渦輪轉(zhuǎn)子的質(zhì)量分布不均,形成一定的質(zhì)量偏心,當(dāng)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動時產(chǎn)生不平衡的離心力,從而使分子泵產(chǎn)生有害的振動和噪音。
二、由于渦輪分子泵的轉(zhuǎn)速很高,因此防止產(chǎn)生共振也是一個重要問題。在分子泵的設(shè)計中應(yīng)正確地選用工作轉(zhuǎn)速和合理地設(shè)計電動機的主軸。
三、主軸的支承條件,如軸承的精度、安裝方式、潤滑條件等對分子泵的振動也將產(chǎn)生較大的影響。