隨著真空應(yīng)用的發(fā)展,
ADIXEN真空泵的種類已發(fā)展了很多種,其抽速從每秒零點(diǎn)幾升到每秒幾十萬、數(shù)百萬升。由于真空應(yīng)用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬,因此任何一種類型的真空泵都不可能*適用于所有的工作壓力范圍,只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求,使用不同類型的真空泵。根據(jù)真空泵的性能,在各種應(yīng)用的真空系統(tǒng)中它可承擔(dān)如下一些工作。
1、主泵。在真空系統(tǒng)中,用來獲得所要求的真空度的真空泵。
2、粗抽泵。從大氣壓開始,降低系統(tǒng)的壓力達(dá)到另一抽氣系統(tǒng)開始工作的真空泵,
3、前級泵用以使另一個(gè)泵的前級壓力維持在其最高許可的前級壓力以下的真空泵。前級泵也可以做粗抽泵使用。
4、維持泵。在真空系統(tǒng)中,當(dāng)抽氣量很小時(shí),不能有效地利用主要前級泵,為此,在真空系統(tǒng)中配置一種容量較小的輔助前級泵,維持主泵正常工作或維持已抽空的容器所需之低壓的真空泵。
5、粗(低)真空泵。從大氣壓開始,降低容器壓力且工作在低真空范圍的真空泵。
6、高真空泵。在高真空范圍內(nèi)工作的真空泵。
7、超高真空泵。在超高真空范圍內(nèi)工作的真空泵。
8、增壓泵。裝于高真空泵和低真空泵之間,用來提高抽氣系統(tǒng)在中間壓力范圍內(nèi)的抽氣量或降低前級泵容量要求的真空泵(如機(jī)械增壓泵和油增壓泵等)。